来?了！

众人振奋！

一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2%！”

二组报告：“散热系统启动！散热功正常！”

三组报告：“传感器反馈激光和液滴?步对准，激光等离子体?在预估范围内捕获！”

组报告……

随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！

众人憋着一气没声，就等着盛明安总结。

盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我?的科研项目，激光等离子体?极紫外?光刻光源是——”

“13.5nm！”

原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为?己的耳朵坏了，他现?了幻听。

盛明安语气里流泻轻松的笑意：“恭喜大家。”

见众人没反应，他回头，疑惑：“你不满意吗？”

林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说?13.5nm……不是16nm？”

?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现?不一的样子。

雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还精确了0.5nm？”

杜颂捂着心脏，喃喃说?道：“不是吧……我?整天研究的就是这?牛逼的玩意？”

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