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“许董,按照目前的情况来看,我们集团公司生产的激光光路系统应该能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层把握,并没有把情况说死。他还是有点担心这套激光光路系统不能提供精准的激光光源。
光刻机的原理和照相机的原理基本一样,都是用曝光来成像。但第三代光刻机的精度非常高,最低可达到0.018微米。倘若再使用FinFET制程技术和浸润式光刻制程技术,精度要达到0.01微米以下。
由此可以想到,第三代光刻机对激光光源的功率、稳定性的要求肯定非常高,一般的国家不能生产这种尖端设备。这也是胡明镇所担心的事情。
胡明镇一边说话,一边指挥着李全等人怎么组装激光发生器、光学仪器、光学镜头等精密设备。这套装配流程非常重要,能直接影响到激光光路系统的精度和可靠性,胡明镇不得不小心行事。
“装配工作什么时间能完成?”
看到李全等人的进度不是很快,许振鸣认为站在这里没啥意思,准备再去隔壁车间巡视一下。临走之前,他向胡明镇要了一份这台光刻机装配和调试的工程进度表。
“许董,如果一切顺利,我们会在元月28日左右开始试生产,并且用这台光刻机来流片。”胡明镇比较忙,跟许振鸣说了几句,又开始投入工作。
许振鸣见此,拿着一摞用A4纸打印的资料,一边翻看着一边朝隔壁的车间走去。
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