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“胡教授,且慢!”而这时,华夏工程院的董教授却连忙摆手,请求胡明镇暂缓执行两套系统的对接接驳程序。
“老董,你发现什么问题?”看到这一幕,华夏科学院的单教授不禁有些诧异。光刻室里的这台krf光刻机,虽然做工精致,布局科学,却也没什么过人之处啊?
不但单教授如此惊讶,刘教授等人此时也都有些吃惊的朝董教授这边看来,目光中满是狐疑的味道。
“那两套系统之间都有一个银色的箱体结构。你们不觉得这箱体结构有点奇怪吗?”董教授精通机械原理,已经看出激光光路系统和主机系统是采用接驳的方式连接,对李尧设计的接驳箱很好奇。
经过他这么一提,刘教授等人顿时对接驳箱关注起来,纷纷询问是不是可以到光刻室内近观。
“没问题!大家都跟我来。”胡明镇自豪的一摆手,领着一众教授专家们朝光刻室里走去。
光刻室里,郝宁教授等人正在做准备工作,各种测试仪器都找准位置;负责起重吊装的操作工,已经把叉车准备好,随时待命随时可以执行吊装就位的操作。
看着这种井然有序的场面,刘教授不禁暗暗点头。他负责的清大电子实验室也曾经制作国光刻机,却没有鸣芯制造公司这般训练有素的团队。
“这个接驳箱是我们为了解决设备主体震动量所特意设计的新机构,采用pdix系统技术,目前球也只有我们一家企业可以制造。”梁宋松此时充当着解说员,站在两套系统之间给一众专家教授们做解答释疑。
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