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“太棒了周博士,集团公司会立即增加一鸣闽都激光实验室的投资!”听完竹竿博士周阳的介绍,许振鸣喜出望外的笑道。说话间,他拿出手机马上就给远在南安总部的胡明镇打电话。
“老胡啊,跟你说一个好消息。你们正在研制的第四代光刻机,激光光源的问题已经有着落了。”许振鸣激动不已的给胡明镇报喜。
还没等他话音落下,手机里顿时传来胡明镇的惊呼声,“你说什么?郝宁教授他们已经取得突破了吗?他们是怎么解决ArF气体的均匀分布和分子运动的问题?”
胡明镇的团队都知道ArF气体经过激光粒子束轰击后悔产生高能准分子的离子束,但一直都找不到均匀可控的激光粒子束。
即便郝宁教授的团队成员一直都在努力,用光学仪器光路系统来控制深紫外粒子束,可依旧没取得什么进展。
与之同时,在这方面技术最领先的岛国尼康公司好像有所突破,已经能做出193纳米的激光发生器。但他们依旧没能获得高能的193纳米深紫外光源,不能把ArF准分子激光做成商品化。
也就是说,目前激光技术最牛的岛国人还没能把深紫外激光商业化,还停留在实验室的阶段。
而周阳博士的团队在无意之间就曾经取得突破,却因为这种光源不符合国防装备的需要从而放弃了。要不是许振鸣心血来潮的突然来访,这项技术恐怕就会被束之高阁,也不知道多少年以后才会被拾起来。
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