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“不要泄气，搞研发就是如此，到底是什么问题？”许振鸣在电话里给郭连生打气，随后就安排司机送他去鸣芯制造公司3号厂房。

无尘车间里，郭连生的团队正在拆卸蚀刻机的外壳，工人们都阴沉着脸，一声不吭的在干活。

“许董，看样子国产等离子发生器的质量不行，换到老外的主机系统上根本不配套。”看到许振鸣走来，郭连生摘下口罩朝许振鸣苦笑着摇头。

对于蚀刻机这种高精尖的机电一体化产品，许振鸣也已经是外行人了。蚀刻机用等离子光束清洗光刻胶，肉眼只能看到一束光在硅晶圆片上扫射，除非用高精度电子显微镜才能看到部分硅晶圆片的电路蚀刻情况。

故此，许振鸣没有不懂装懂，而是皱着眉头问道：“你认为这是机械问题，还是控制问题，或者是系统问题？”

按照许振鸣的理解，郭连生的团队在试验之前，应该用国产蚀刻机做过一些调试实验。他想知道用国产蚀刻机来蚀刻芯片电路的时候是否稳定，是否有过成功的案例。

“有是有过，但很不稳定。有时可以做到130纳米，有的时候就做不到。所以我们采用替换法来找原因。”

“那你们离成功还远的很呐。”许振鸣不由得的一挥手，示意郭连生应该冷静下来，召开技术讨论会，探讨一下国产蚀刻机不稳定的故障缘由。

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