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第2天一早,段云就来到了芯片厂。
两名荷兰专家在前天的时候,已经回到了深圳,并且住在了工厂旁边的招待所中。
这是荷兰专家带来了很多的工具和仪器,大部分段云都是从来没见过的,也不知道这些仪器的功能是什么。
虽然这两名荷兰工程师确实有些贪财,但是工作起来却非常的卖力,回到深圳的当天下午,他就已经通过段云挑选组织的一个安装团队,包括7名以前在日本培训过的技术员,另外还有二十几名搬运工,公司的专职翻译陈铁生和李芸担任中方联络人,负责协调工作。
这几台阿斯麦的光刻机非常精密,任何一个部件的磨损和擦伤,都可能导致整台机器精度的下降,不过值得庆幸的是,尽管横越了半个地球,然后又被装到铁甲大飞上逆风斩浪,但是包装厚实关键零部件并没有受到损伤,通过仪器的测试之后,也让两名荷兰工程师松了一口气。
然而把这些机器送入无尘车间并不是一件简单的事情,为了避免灰尘的带入,所有零部件在进入车间之前,还要经过一系列的除尘处理,这才能进入车间。
另外和普通机器不同的是,阿斯麦的光刻机他是有一个完备的安装手册的,手册多达上百页,大部分都是一些安装数据参数,所有零部件都是有编号的,必须要按次序安装,而且这其中一颗螺丝的安装需要多大的力度,每一块镜片的偏差度多少,都是有严格标注的,另外光是底座的找平,就花费了整整一个上午的时间。
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